傅利葉變換紅外光譜分析儀

描述

MKS MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護(hù)。

MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì)，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫組成。MultiGas™6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。

傅利葉變換紅外光譜分析儀特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

l10ppb-100%靈敏度對(duì)于絕大多數(shù)有毒有害氣體

l易于移動(dòng)從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

l同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

l分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本

l取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度

l保護(hù)的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

l頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定

l提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

l用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

傅利葉紅外光譜分析儀應(yīng)用

l煙囪監(jiān)測器

l工藝監(jiān)測改進(jìn)和優(yōu)化

l空氣環(huán)境分析

l氣體純度分析

l燃燒排放監(jiān)測

l選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

光譜分析

Multigas的分析器有個(gè)具有定量和多功能的分析軟件，它能同時(shí)分析和報(bào)道許多混合物的濃度，這個(gè)能在個(gè)人電腦上運(yùn)行的軟件，能對(duì)分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的變化進(jìn)行自動(dòng)修正。樣本的收集和分析在一秒內(nèi)完成，進(jìn)行瞬時(shí)分析。

殘留光譜：除去樣本示范的校準(zhǔn)

整個(gè)數(shù)據(jù)整理過程中，MultiGas 軟件一邊計(jì)算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷史的圖表和列表形式，測得的光譜和殘余光譜。這個(gè)殘余光譜能被用來確定分析的誤差，使得QA/QC變得簡單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的"光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這些光譜可以在任何時(shí)候利用同樣或不同的零點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝。

工藝的時(shí)間線

半導(dǎo)體堆的紅外光譜：樣品(白)，校準(zhǔn)(有顏色的) MultiGas 6030能同時(shí)區(qū)分相似的分子

對(duì)應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計(jì)，2102傅利葉變換紅外分光計(jì)是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中最快速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作，具有對(duì)高溫，振動(dòng)和溫度變化的免疫。更可貴的是，高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是標(biāo)準(zhǔn)的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

2102  傅立葉變換紅外分光計(jì)

這個(gè)分光計(jì)連接到一個(gè)小體積(200mL) 多變換，有5.11米有效通道的取得zl權(quán)的氣室，這個(gè)氣室的zl設(shè)計(jì)結(jié)合了非球面的，非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇，一個(gè)單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

5.11米光路，200毫升，長通道測量氣室8-1/2"x 2"x 3-1/2",運(yùn)用zl的非端正光學(xué)以達(dá)到最大的靈敏性

儀器的自主校準(zhǔn)

MultiGas 的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖，能提供一個(gè)動(dòng)態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級(jí).許多核數(shù)的校準(zhǔn)都由其提供，另外，用戶也可以通過已知的濃度來進(jìn)行校準(zhǔn)。MultiGas 軟件檢驗(yàn)每個(gè)工具的性能的效用，使它能把一個(gè)已經(jīng)在一臺(tái)機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺(tái)機(jī)器上，而且不用變更。

傅利葉變換紅外光譜分析儀規(guī)格

分析儀主機(jī)

l測試技術(shù)：傅利葉變換紅外光譜

l可測試氣體或水蒸氣:絕大多數(shù)分子除了氮?dú)?，氧氣和氫?/span>

l  范圍:濃度從10ppb到100%

l  傅利葉變換紅外:2102制成傅利葉變換紅外

l 光譜分辨率:0.5-128cm-1

l  掃描速度：每秒1次在0.5cm-1

l     掃描時(shí)間：1 - 300秒

l    紅外源：碳化硅在1200℃

l   參考激光：氦氖（15798.2cm-1

l  檢測器：液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

l 清潔(Purge)壓力：最大20PSI(1.5bar)

l    光譜室Purge流量：0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

l   光學(xué)系統(tǒng)Purge流量：0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

l  壓力傳感器：MKS Baratron®電容式薄膜壓力傳感器

l     Purge連接：Swagelok®快速接頭

l   電腦要求：臺(tái)式或筆記本電腦帶Intel奔騰®處理器,微軟Wingdows®XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示

l       通訊口：RJ-45交叉以太網(wǎng)

l    輸出選件：XML，模擬，AK，其他

l      尺寸：445mm寬 × 318mm高 × 648mm深

l  安裝：可安裝于19英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜

l  電源：110V或220V，50/60hz，3A

l  重量：50公斤

分析儀采樣參數(shù)

l    采樣溫度：室溫至200℃（取決于校準(zhǔn)溫度）

l  采樣速流：0.2 –10升/分

l   采樣壓力：0.01 –4大氣壓（取決于校準(zhǔn)壓力）

分析儀氣體室

l              結(jié)構(gòu) ：鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件

l             接頭 ：Swagelok®或VCR®

l            采樣壓力 ：1個(gè)大氣壓（取決于校準(zhǔn)壓力）

l            管道：加熱不銹鋼

l            鏡：鋁襯底鎳板，鍍金

l            窗口：KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

l        “O"型密封圈：Viton®，(其他可選)

檢測極限

5.11米氣室，MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體低檢測數(shù)據(jù)為：