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21 系列 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器 層流差壓原理 非抗腐蝕 量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM，優(yōu)于 1 % 的精度，控制范圍廣，優(yōu)于 100 ms 響應(yīng)時(shí)間

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